Art des Auftrags:

Lieferungen

Haupteinstufung (cpv):

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer

Zusätzliche Einstufung (cpv):

Erfüllungsort:

Paris

Verfahrensart:

Offenes Verfahren

Beschreibung:

L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO 2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’ équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation. Geeignet für kleine und mittlere Unternehmen:

ja

Frist für den Eingang der Angebote:

15/09/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit,

Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen:

Beginn der Ausführung:

Ende der Ausführung:

Allgemeine Informationen:

Zusätzliche Informationen: La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires. Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU 2.1.6.

Zusätzliche Informationen:

« Aucune caution, ni garantie ne sont exigées Financement sur le budget de l’établissement. Prix ferme pour la prestation. Paiement à 30 jours conformément à l’article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Son montant sera égal à 30% du montant TTC du marché. Paiement après service fait . Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique. 2.1.3. Wert Geschätzter Wert ohne MwSt.: 530 000,00 EUR 2.1.4. Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires.

Ausschlussgründe:

Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen 5.

Eignungskriterien:

Quellen der Auswahlkriterien: Auftragsunterlagen 5.1.10.

Zuschlagskriterien:

Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Critère n°1 : Valeur technique Beschreibung: Critère n°1 : Valeur technique et ses 5 sous-critères Sous-critère n° 1 : Garanties apportées en termes de qualité des matériaux et des éléments constituants l’ équipement RIE-ICP 15 points, Sous-critère n°2 : Garanties apportées en termes de qualité du système de pompage 5 points, Sous-critère n° 3 : Garanties apportées en termes de performances de gravure (vitesse de gravure, uniformité, rugosité des flancs et du fond de gravure) 10 points, Sous-critère n° 4 Garanties apportées en termes d’adaptation pour une utilisation sur une plateforme académique (IHM, versatilité, évolutivité, …) 15 points, Sous- critère n° 5 Garantie et Qualité du SAV 10 points. Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 55,00 Kriterium: Art: Kosten Bezeichnung: Critère n°2 : Prix 491843-2025 Page 3/6 Beschreibung: Prix Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 30,00 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Critère n°3 : Délai d’exécution Beschreibung: Délai d’exécution Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 5,00 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Critère n°4: Démarche environnementale Beschreibung: Critère n°4 : Démarche environnementale et ses 2 sous-critères : Sous-critère 1: Puissance électrique consommée (en kW ou kVA) lorsque l’équipement est maintenu sous vide 2 points, Sous critère 2 : Durée de disponibilité et de commercialisation des pièces détachées par rapport à la date d’acquisition du matériel (degré de réparabilité) 8 points. Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 10,00 5.1.11.

Techniken:

Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16.

Weitere Informationen:

Schlichtung und Nachprüfung 491843-2025 Page 4/6 Schlichtungsstelle: CCIRA de Paris Überprüfungsstelle: Tribunal Administratif de Paris Informationen über die Überprüfungsfristen: « Précisions concernant les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l’article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l’accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d’une demande tendant, sur le fondement de l’article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l’exécution du contrat ». Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Tribunal Administratif de Paris 8.

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Automatische Übersetzung – Original auf TED

© Europäische Union, 1998–2025, https://ted.europa.eu

Kontaktdaten:


Offizielle Bezeichnung des Beschaffers:

CNRS DELEGATION PARIS-CENTRE

Erfüllungsort:

UMR7588 – Institut des NanoSciences de Paris (INSP), Sorbonne Université,

75005 Paris

Link zu Auftragsunterlagen:

https://www.marches-publics.gouv.fr/?

Beschaffer E-Mail:

marchesdr2@dr2.cnrs.fr

Beschaffer Rechtsform:

Einrichtung des öffentlichen Rechts

Beschaffer Tätigkeit:

Bildung

Bedingungen für die Auftragsvergabe:

Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.marches-publics.gouv.fr/ Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Französisch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 15/09/2025 12:00:00 (UTC+ 2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 3 Monate Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Zusätzliche Informationen: L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister. Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein 5.1.15.

Organisationen:

Offizielle Bezeichnung: CNRS DELEGATION PARIS-CENTRE Registrierungsnummer: 18008901303282 Postanschrift: 16 rue Pierre et Marie Curie Stadt: Paris Postleitzahl: 75005 Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101) Land: Frankreich Kontaktperson: Pôle Achats E-Mail: marchesdr2@dr2.cnrs.fr Telefon: +33 142349400 Internetadresse: http://www.cnrs.fr Profil des Erwerbers: https://www.marches-publics.gouv.fr Rollen dieser Organisation: Beschaffer 8.1.

Offizielle Bezeichnung: Tribunal Administratif de Paris Registrierungsnummer: 177 500 055 00013 Postanschrift: 7 rue de Jouy Stadt: PARIS CEDEX 04 Postleitzahl: 75181 Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101) Land: Frankreich E-Mail: greffe.ta-paris@juradm.fr Telefon: +33 144594400 Fax: +33 144594646 Internetadresse: http://paris.tribunal-administratif.fr/ Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt 491843-2025 Page 5/6 8.1.

Los:

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